不銹鋼真空手套箱的氣體凈化柱中裝有水和氧氣吸附資料,新的資料的吸附能力zui強,吸附速度zui快。跟著被吸附的雜質量的增加,吸附劑的吸附速度將逐漸下降,導致手套箱內的水氧濃度逐漸上升。而且,如果操作過程中帶入少數水氧導致水氧濃度上升,水氧濃度要恢復到操作前的水平需求更長的時刻。當水氧濃度或水氧濃度的恢復時刻到達不可承受的情況下,凈化柱就需求再生了。
凈化柱的再生間隔由兩個要素決議的。
1)凈化柱的吸附量,即當吸附柱吸附雜質到一定量后,其純化能力已不能維持水氧濃度在要求范圍內或水氧濃度恢復速度不能滿足要求。手套箱的凈化柱的吸附量一般為20-60升O2。
2)手套箱的走漏率和操作時引進雜質的量。
a)手套箱的走漏率一般為<0.05%/hr,即57升O2/月。威格的超低走漏率為<0.001%vol/h,即1升O2/月。
b)操作時會引進少數水氧,但只需依照操作規程,沒有嚴峻誤操作,水氧被引進手套箱內對錯常有限的。一年因操作引進的水氧也不會超越凈化柱的吸附量。
由此可見,只需遵循手套箱的操作規程,雜質進入手套箱的首要途徑是通過手套箱上的連接處和手套走漏進去的。所以,手套箱的走漏率決議了再生間隔,一般在一個月到一年之間。
|